1～4級(jí)

5級(jí)

6～9級(jí)

1

出風(fēng)口送排風(fēng)量（必需時(shí)體系總送排風(fēng)量）

難測(cè)

必檢

E1

2

棚間或系統(tǒng)軟件排風(fēng)量

必檢

E1

3

棚間排風(fēng)量

負(fù)壓力潔凈棚必檢

E1

4

棚里橫截面風(fēng)力

必檢

難測(cè)

E1

5

風(fēng)力不勻稱度

必檢

必需時(shí)測(cè)

必要時(shí)測(cè)

E3

6

正壓送風(fēng)口或特殊界限的風(fēng)力

難測(cè)

必需時(shí)測(cè)

E1

7

負(fù)壓差

必檢

E2

8

打開(kāi)門后門里0.6m處潔凈度等級(jí)

必檢

難測(cè)

E2

9

洞邊風(fēng)力

必需時(shí)測(cè)

E2

10

棚間甲醛含量

必檢（必測(cè)或是必需時(shí)測(cè)未確定）

E13

11

棚間氨濃度值

必需時(shí)測(cè)

E14

12

棚間二氧化碳濃度

必需時(shí)測(cè)

E15

13

棚間二氧化炭濃度值

必需時(shí)測(cè)

E16

14

排風(fēng)高效送風(fēng)口掃描儀測(cè)漏

必檢

D2、E3

15

排風(fēng)系統(tǒng)高效送風(fēng)口掃描儀測(cè)漏

微生物潔凈棚必檢

D2、E3

16

氣體潔凈度等級(jí)等級(jí)

必檢

E4

17

表層潔凈度等級(jí)等級(jí)

必需時(shí)測(cè)

難測(cè)

由受托人和檢驗(yàn)方商議選中規(guī)范

18

溫度

必檢

E5

19

空氣濕度

必檢

E5

20

溫濕度記錄起伏范疇

必需時(shí)測(cè)

E5.2

21

棚域溫差與棚域環(huán)境濕度差

必需時(shí)測(cè)

E5.2

22

噪音

必檢

E6

23

光照強(qiáng)度

必檢

E7

24

排架結(jié)構(gòu)氣密性試驗(yàn)

必需時(shí)測(cè)

G2~4

25

微振

必要時(shí)測(cè)

E10

26

表層導(dǎo)靜電感應(yīng)

必需時(shí)測(cè)

E9

27

氣旋流形

不測(cè)

必需時(shí)測(cè)

E12.1

28

定項(xiàng)流

不測(cè)

必需時(shí)測(cè)

E12.2

29

流線平行面性

必需時(shí)測(cè)

不測(cè)

E12.3

30

臭氧消毒時(shí)間

必需時(shí)測(cè)

E11

31

分子結(jié)構(gòu)態(tài)污染物質(zhì)

必需時(shí)測(cè)

必要時(shí)測(cè)

H2

32

浮游菌或沉降菌

有微生物菌種濃度值主要參數(shù)規(guī)定的潔凈棚必檢

E8.2~3

33

表面染菌相對(duì)密度

必需時(shí)測(cè)

E8.4

34

分子生物學(xué)點(diǎn)評(píng)

必需時(shí)測(cè)

F1~3

風(fēng)力不勻稱度

1～4級(jí)

12個(gè)月

正壓送風(fēng)口或特殊界限的風(fēng)力

6～9級(jí)

12個(gè)月

洞邊風(fēng)力

全部等級(jí)

12個(gè)月

溫濕度記錄起伏范疇及棚域區(qū)別

全部等級(jí)

12個(gè)月或動(dòng)態(tài)性檢測(cè)

微振

全部等級(jí)

24個(gè)月

表面導(dǎo)靜電感應(yīng)

全部等級(jí)

24個(gè)月

氣旋流形

6～9級(jí)

不限

定項(xiàng)流

6～9級(jí)

12個(gè)月

流線平行面性

1～5級(jí)

不限

臭氧消毒時(shí)間

5～9級(jí)

24個(gè)月

排架結(jié)構(gòu)氣密性試驗(yàn)

有需要的

不限

表面染菌相對(duì)密度

全部等級(jí)

6個(gè)月

分子生物學(xué)點(diǎn)評(píng)

全部等級(jí)

不限

分子結(jié)構(gòu)態(tài)污染物質(zhì)

1～4級(jí)

12個(gè)月

表面潔凈度等級(jí)

1～5級(jí)

12個(gè)月

氨濃度

全部級(jí)別

24個(gè)月

活性氧濃度

全部級(jí)別

不限

二氧化炭濃度

所有級(jí)別

3個(gè)月